（1）等離子體工藝簡介

等離子體污染物控制技術利用氣體放電產生具有高度反應活性的粒子與各種有機、無機污染物發生反應，從而使污染物分子分解成為小分子化合物或氧化成容易處理的化合物而被去除。

這一技術的_大特點是可以_、便捷地對多種污染物進行破壞分解，使用的設備簡單，占用的空間較小，并適合于多種工作環境。

（2）等離子體工藝原理及流程

用于處理揮發性有機物的主要是電暈放電,主要的降解機制如下：在施加的電場下，在電極空間中的電子獲得了能量并開始加速。運動的過程中的電子與氣體分子相互碰撞，使氣體分子被激發、電離或吸附電子成為負離子。

（3）等離子體工藝的影響因素

在降解過程中，電極電壓的選擇和控制是其主要內容，它會影響放電介質的放電和電子的攜能，以及之后的一系列反應，進而影響到降解效率；同時電極電壓也作為該方法達到商業應用的一個重要參數，因此電極電壓的選擇特別關鍵。

低溫等離子體降解VOCs除了和電極電壓有密切關系外,其還受反應器結構、反應背景氣氛、VOCs 廢氣中含水量、放電頻率、放電電壓、VOCs 的化學結構、催化劑種類、低溫等離子體放電形式、反應溫度以及 VOCs的初始濃度等的影響,其中以氣體濃度和氣流量的影響為主。

（4）等離子體工藝優缺點

優點：

處理效率高，運行費用低，特別對芳烴的去除效率高。

缺點：

對高濃度 VOCs 處理效率一般，目前主要停留在實驗室階段，缺乏實際應用。